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AIM-IF-Std/Pro/ ProS是西安光衡光电科技有限公司研发的具有调焦光轴直线性精度的高精度数字内调焦自准直仪,该款产品可实现从-~-400mm;+385mm~+的大范围变焦同时,调焦光轴直线性精度可达3秒/0.02mm@2m。良好的光轴一致性精度,使其可实现基于统一空间基准前提下,在各工作距位置的目标位移偏差的测量。
 
型号
MecAIM-500S(-E/-D)
MecAIM-500H(-E/-D)
MecAIM-1000S(-E/-D)
MecAIM-100OH(-E/-D)
MecAIM-2000S(-E/-D )
MecAIM-2000H(-E/-D)
中
心
偏
测
值
测量模式
反射/透射
反射
+3~±500mm曲率)
+3~+1000mm(曲率)
+3~+2000mm(曲率)
透射
+3~+500mm(焦距)
+3~+1000mm(焦距)
+3~+1000mm(焦距)
测试精度
+1"/±0.5um(含转台跳动误差)
有
效
焦
测
值
测量精度
@3~25mm 0.1%-0.3%
@25~500mm 0.03%~0.1%
NA
@500~1000mm 0.1%-0.3%
测量范围
+3~+500mm
+3~+1000mm
+3~+2000mm
测
试
轴
测
值
上轴
S
500mm
H
1000mm
下轴
250mm仅MecAIM-D系列配置
 
最大样品口径
400(可定制)
Products Inquiry
 
型号
MecAIM-500S(-E/-D)
MecAIM-500H(-E/-D)
MecAIM-1000S(-E/-D)
MecAIM-100OH(-E/-D)
MecAIM-2000S(-E/-D )
MecAIM-2000H(-E/-D)
中
心
偏
测
值
测量模式
反射/透射
反射
+3~±500mm曲率)
+3~+1000mm(曲率)
+3~+2000mm(曲率)
透射
+3~+500mm(焦距)
+3~+1000mm(焦距)
+3~+1000mm(焦距)
测试精度
+1"/±0.5um(含转台跳动误差)
有
效
焦
测
值
测量精度
@3~25mm 0.1%-0.3%
@25~500mm 0.03%~0.1%
NA
@500~1000mm 0.1%-0.3%
测量范围
+3~+500mm
+3~+1000mm
+3~+2000mm
测
试
轴
测
值
上轴
S
500mm
H
1000mm
下轴
250mm仅MecAIM-D系列配置
 
最大样品口径
400(可定制)
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