型号 |
MecAIM-500S(-E/-D) MecAIM-500H(-E/-D) |
MecAIM-1000S(-E/-D) MecAIM-100OH(-E/-D) |
MecAIM-2000S(-E/-D
) MecAIM-2000H(-E/-D) |
||
中 心 偏 测 值 |
测量模式 |
反射/透射 |
|||
反射 |
+3~±500mm曲率) |
+3~+1000mm(曲率) |
+3~+2000mm(曲率) |
||
透射 |
+3~+500mm(焦距) |
+3~+1000mm(焦距) |
+3~+1000mm(焦距) |
||
测试精度 |
+1"/±0.5um(含转台跳动误差) |
||||
有 效 焦 测 值 |
测量精度 |
@3~25mm 0.1%-0.3% |
|||
@25~500mm 0.03%~0.1% |
|||||
NA |
@500~1000mm 0.1%-0.3% |
||||
测量范围 |
+3~+500mm |
+3~+1000mm |
+3~+2000mm |
||
测 试 轴 测 值 |
上轴 |
S |
500mm |
||
H |
1000mm |
||||
下轴 |
250mm仅MecAIM-D系列配置 |
||||
最大样品口径 |
400(可定制) |
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型号 |
MecAIM-500S(-E/-D) MecAIM-500H(-E/-D) |
MecAIM-1000S(-E/-D) MecAIM-100OH(-E/-D) |
MecAIM-2000S(-E/-D
) MecAIM-2000H(-E/-D) |
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中 心 偏 测 值 |
测量模式 |
反射/透射 |
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反射 |
+3~±500mm曲率) |
+3~+1000mm(曲率) |
+3~+2000mm(曲率) |
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透射 |
+3~+500mm(焦距) |
+3~+1000mm(焦距) |
+3~+1000mm(焦距) |
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测试精度 |
+1"/±0.5um(含转台跳动误差) |
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有 效 焦 测 值 |
测量精度 |
@3~25mm 0.1%-0.3% |
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@25~500mm 0.03%~0.1% |
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NA |
@500~1000mm 0.1%-0.3% |
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测量范围 |
+3~+500mm |
+3~+1000mm |
+3~+2000mm |
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测 试 轴 测 值 |
上轴 |
S |
500mm |
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H |
1000mm |
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下轴 |
250mm仅MecAIM-D系列配置 |
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最大样品口径 |
400(可定制) |
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